На российском форуме «Микроэлектроника 2025» подписали договор на поставку первой отечественной установки совмещения и проекционного экспонирования (фотолитографа) с разрешением 350 нм. Договор заключен между Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и «Отраслевыми решениями» (входит в группу компаний «Элемент»).
Сегодня мы закладываем фундамент нового этапа развития отечественной микроэлектроники. В ЗНТЦ завершена разработка установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм, ее параметры подтверждены на производственной площадке, осуществляется переход к серийному производству. Это первый шаг в создании линейки российских литографов. Создан серьезный задел, который позволяет нам перейти к разработке полностью локализованных установок с нормами 90 нм.
Фотолитограф ЗНТЦ предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы с проектной топологической нормой 350 нм. Договор включает поставку, монтаж и пусконаладку оборудования.
Эта установка создана в рамках реализации одного из первых проектов государственной программы по локализации технологической цепочки производства микросхем с топологическими нормами 350-130 нм. Она будет использоваться для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств. Разработка и производство фотолитографа осуществлены в партнерстве с белорусским ОАО «Планар».
Ранее www1.ru сообщал, что первый в России фотолитограф с разрешением 350 нанометров разработали в Зеленограде.
Читать материалы по теме:
- Прорыв в оптоэлектронике: уникальный литограф разработали в МФТИ
- В России создадут литограф, способный производить чипы на 130 наноментров
- Новая веха в оптоэлектронике: российский литограф на 193 нанометра могут создать в России через пару лет
Сейчас на главной
Дмитрий Баканов: количество пусков космических аппаратов растёт каждый год
Самолёты заметили над Сыктывкаром 2 и 5 апреля
Глава Роскосмоса Дмитрий Баканов рассказал, как наклонение в 51,6 градуса откроет возможности для совместных полётов
Систему автоматического контроля разработали для FDM принтеров
ОДК: испытания в обледенении подтвердили устойчивость силовой установки
Пусковую установку Himars возможно обнаружить на дальности более 200 км
Лайнер рассчитан на полёт с пониженным шумом
Разработка Верхневолжского ГАУ уже заинтересовала региональные власти и может выйти в мелкую серию
Микрогравитация и вакуум на новой станции РОС откроют возможности для медицины и электроники
Поддержку с воздуха обеспечивал противолодочный самолёт Ил-38
Дополнительную защиту обеспечивает «Контакт»
Юрий Кнутов: БРСД уничтожит подземные производства БПЛА