На российском форуме «Микроэлектроника 2025» подписали договор на поставку первой отечественной установки совмещения и проекционного экспонирования (фотолитографа) с разрешением 350 нм. Договор заключен между Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и «Отраслевыми решениями» (входит в группу компаний «Элемент»).
Сегодня мы закладываем фундамент нового этапа развития отечественной микроэлектроники. В ЗНТЦ завершена разработка установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм, ее параметры подтверждены на производственной площадке, осуществляется переход к серийному производству. Это первый шаг в создании линейки российских литографов. Создан серьезный задел, который позволяет нам перейти к разработке полностью локализованных установок с нормами 90 нм.
Фотолитограф ЗНТЦ предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы с проектной топологической нормой 350 нм. Договор включает поставку, монтаж и пусконаладку оборудования.
Эта установка создана в рамках реализации одного из первых проектов государственной программы по локализации технологической цепочки производства микросхем с топологическими нормами 350-130 нм. Она будет использоваться для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств. Разработка и производство фотолитографа осуществлены в партнерстве с белорусским ОАО «Планар».
Ранее www1.ru сообщал, что первый в России фотолитограф с разрешением 350 нанометров разработали в Зеленограде.
Читать материалы по теме:
Сейчас на главной
Огромные активные области светила можно разглядеть на рассвете и закате через защитные фильтры
На платформе запущен сбор вопросов к прямой линии президента
44 тысячи квадратных метров — для электроники, гидромеханики и наземных испытаний
Замсекретаря ОП РФ назвал бумажный паспорт анахронизмом
Новая платформа появится в 2026 году
Поставка производимых в Индии комплектующих в Россию — одна из целей корпорации
Предприятие определилось с электростратегией
Коллекционный экземпляр с мотором на 228 л.с. продают за 50 000 евро
В едином строю пролетели 10 боевых машин
Специалисты «Яковлева» проведут серию испытаний : при экстремально высоких и низких температурах, а также в высокогорных районах
НИЦ Крылова возьмёт на себя управление отраслью
Модель сохраняет все технические характеристики классической Aura