Fundamento para el desarrollo de la electrónica nacional: entregan el primer fotolitógrafo al cliente

La instalación tiene una resolución de 350 nm

En el foro ruso «Microelectrónica 2025» se firmó un contrato para el suministro de la primera instalación nacional de alineación y exposición por proyección (fotolitógrafo) con una resolución de 350 nm. El contrato se celebró entre el Centro Nanotecnológico de Zelenograd (ZNTTs) y «Soluciones Sectoriales» (que forma parte del grupo de empresas «Elemento»).

Hoy estamos sentando las bases de una nueva etapa en el desarrollo de la microelectrónica nacional. En el ZNTTs se ha completado el desarrollo de una instalación de alineación y exposición por proyección con una resolución de 350 nm, sus parámetros han sido confirmados en la planta de producción y se está realizando la transición a la producción en serie. Este es el primer paso en la creación de una línea de litógrafos rusos. Se ha creado una base sólida que nos permite pasar al desarrollo de instalaciones totalmente localizadas con normas de 90 nm.
Antón Kovalev, director general de AO «ZNTTs»

El fotolitógrafo ZNTTs está diseñado para la transferencia por proyección de la imagen de una fotomáscara a una placa de semiconductores y su multiplicación en la placa durante la fabricación de un circuito integrado a gran escala con una norma topológica de diseño de 350 nm. El contrato incluye el suministro, el montaje y la puesta en marcha del equipo.

Esta instalación fue creada en el marco de la implementación de uno de los primeros proyectos del programa estatal para la localización de la cadena tecnológica de producción de microcircuitos con normas topológicas de 350-130 nm. Se utilizará para modernizar las producciones microelectrónicas existentes y equipar las nuevas. El desarrollo y la producción del fotolitógrafo se llevaron a cabo en colaboración con la empresa bielorrusa OAO «Planar».

Anteriormente, www1.ru informó que el primer fotolitógrafo en Rusia con una resolución de 350 nanómetros fue desarrollado en Zelenograd.

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