Первый в России фотолитограф с разрешением 350 нанометров разработали в Зеленограде

Оборудование используют в производстве микроэлектроники

Специалисты Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ) вместе с коллегами из «Планара» (Белоруссия) разработали первый в России фотолитограф с топологией 350 нм. Это ключевое оборудование для производства микросхем, сообщила пресс-служба центра.

Первый в России фотолитограф с разрешением 350 нм
Первый в России фотолитограф с разрешением 350 нм
Источник изображения АО «ЗНТЦ»
Новая совместная разработка имеет ряд преимуществ: существенно увеличена площадь рабочего поля – 22х22 мм по сравнению с предшествующей – 3,2х3,2 мм, на ступень больше максимальный диаметр обрабатываемых пластин – 200 мм вместо 150 мм.
Анатолий Ковалев, генеральный директор АО «ЗНТЦ»

Ковалев заявил, что в других странах для производства литографов в качестве источника излучения используют ртутную лампу. Российские инженеры применили твердотельный лазер, который отличается повышенной мощностью, долговечностью и более узким спектром, добавил он.

Первый в России фотолитограф с разрешением 350 нм
Первый в России фотолитограф с разрешением 350 нм
Источник изображения АО «ЗНТЦ»

В ЗНТЦ также разрабатывают установку совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 130 нм. Работу завершат в 2026 году.

Читайте еще по теме:

Идут на рекорды: Тутаевский моторный завод выпустил 25-тысячную автомобильную редукторную лебёдку

Импортозамещение идет полным ходом: установку для создания чипов разработали в НИИТМ

Рынку ИИ в России не хватает видеокарт

21 апр 19:51 Новости
Российские учёные представили обзор ПАУ-материалов для металл-ионных аккумуляторов Полициклические ароматические углеводороды открывают новые возможности в накопителях энергии
21 апр 19:18 Новости
Росатом заключит договоры на блок №3 БелАЭС в 2026 году Госкорпорация подготовит правовую базу и технический проект для нового энергоблока
21 апр 18:32 Новости
Строительство завода чипов для С-500 «Прометей» на Урале сдвинулось с мёртвой точки Предприятие СВЧ-электроники «Карат» площадью 15 тысяч м² планируют развернуть в конце 2027 года
21 апр 18:28 Новости
Российские компаунды заменили импорт в производстве топливных систем автомобилей ДИПО и ПОЛИПЛАСТИК создали материалы для компонентов заправочных систем нового поколения
21 апр 16:04 Новости
Башкирия вложит 130 млрд рублей в модернизацию ТЭЦ до 2031 года Газовые турбины после ухода Siemens и General Electric могут заказать у ОДК или китайцев
Источники:
АО «ЗНТЦ»
2025-03-24 11:54:49 Юлия Шелковенко Промышленность Зеленоградский нанотехнологический центр «Планар»
Telegram Дзен

Сейчас на главной

Все новости