24 сент. 2025 г., 14:18:20
Фундамент для развития отечественной электроники: первый фотолитограф поставят заказчику
Установка обладает разрешением в 350 нм
25 мар. 2025 г., 10:01:38
С разрешением 350 нм: первый российский литограф разработали в ЗНТЦ
В качестве источника излучения использовали твердотельный лазер