Российские инженеры создали экспериментальный растровый микроскоп, который способен различать детали размером до 3 нм. При этом разработчики заложили в прибор решения, позволяющие проводить исследования с меньшим воздействием электронного луча на образец.
Сейчас существует только экспериментальный образец, а серийный выпуск планируют начать в 2027 году.
В конструкции предусмотрели возможность выбирать материал катода — источника электронов. Пользователь сможет установить более точный и дорогой лантановый катод либо сравнительно доступный вольфрамовый.
Также российские инженеры намерены реализовать в серийном изделии особую ускорительную систему, которая в отличие от импортных устройств позволит прибору работать при более низких напряжениях. Это даст возможность меньше разрушать материалы в ходе исследований.
Растровый микроскоп формирует изображение при построчном сканировании поверхности сфокусированным электронным лучом. Детектор фиксирует отражённые электроны, после чего компьютер собирает из сигналов изображение образца.
При разрешении до 3 нм прибор сможет использоваться для исследования сплавов и покрытий, анализа микросхем и чипов, а также изучения биологических образцов.
В серийной версии разработчики рассчитывают довести долю российских комплектующих примерно до 90%. Таким образом, речь пока идёт не о готовом серийном оборудовании, а об экспериментальной платформе, на которой отрабатывают технологию будущего прибора.
Комментарии