Зеленоградский нанотехнологический центр разработает российский сканирующий электронный микроскоп для контроля производства микросхем. Контракт стоимостью 2,37 млрд рублей заключён с Минпромторгом, завершить работы необходимо до 30 июня 2030 года.

Установка под шифром «Инспектор» будет измерять критические элементы на поверхности кремниевых пластин: ширину линий, диаметр контактных отверстий, расстояние между структурами и шероховатость их краёв. Оборудование рассчитано на пластины диаметром 100, 150 и 200 миллиметров, а опытный образец создадут под формат 200 миллиметров.

Функциональными аналогами выступают японские микроскопы Hitachi S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию остановлены из-за санкций. Прямых отечественных аналогов такого оборудования сейчас нет.

Электронная пушка, оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, система загрузки пластин, контроллер и программное обеспечение должны быть российского производства. Импортные компоненты разрешат использовать только после согласования с заказчиком. Срок службы установки должен составлять не менее десяти лет, а наработка на отказ — от тысячи часов.

Эксперты называют CD-SEM одним из самых сложных видов оборудования для микроэлектроники. При этом контракт предусматривает создание только опытного образца: переход к серийному выпуску потребует дополнительных инвестиций, времени и производственной базы. Ранее ЗНТЦ уже разработал литограф с разрешением 350 нанометров и два образца установки электронно-лучевой литографии на 150 нанометров.