Конструкторы компании ВЦМО из Владимира разработали новый высоковакуумный турбомолекулярный насос. Оборудование необходимо для производства полупроводников, микроэлектроники, оптических покрытий, солнечных батарей, компонентов спутников и авиационных двигателей.

Главной особенностью новой разработки стала необычная гибридная схема, объединяющая сразу две технологии откачки газа — турбомолекулярную и молекулярную.

В конструкции используются 6 рабочих ступеней с лопатками и ещё 4 молекулярные ступени с гладкими дисками, которые обеспечивают дополнительное сжатие газа.

Специалисты уменьшили радиальный зазор между ротором и статором до 1,4 мм, что позволило сократить обратные утечки газа.

При этом насос оказался заметно компактнее конкурентов: его масса уменьшилась на 10–15%, а размеры — на 15–20% при сохранении производительности не менее 1000 литров газа в минуту.

Ещё одна особенность — использование гибридных керамических подшипников, рассчитанных на работу ротора со скоростью до 30 тысяч оборотов в минуту.