В Санкт-Петербургском политехническом университете Петра Великого (СПбПУ) разработали отечественную установку вакуумного магнетронного осаждения. Об этом сообщила пресс-служба Минобрнауки РФ.
Новая установка позволяет наносить самые тонкие покрытия из различных материалов путем распыления атомов. Такие покрытия используются в микроэлектронике, оптоэлектронике и фотовольтаике.
Лабораторная установка, разработанная инженерами НЦМУ СПбПУ, предназначена для осаждения различных материалов на подложки кремния, карбида кремния, алмаза, кварца путем распыления атомов мишени. Основное назначение новой установки - осаждение металлов заданной толщины от 10 нм до десятков мкм на подложки, которые используются в полупроводниковой промышленности.
В процессе вакуумного магнетронного осаждения ключевую роль играет мишень — источник материала для покрытия. При подаче напряжения на магнитную систему магнетрон в атмосфере инертного газа генерирует плазму. Освобожденные за счет ионов атомы осаждаются на поверхности объекта, образуя тончайший слой.
Наша установка может заменить широко используемые комплексы иностранного производства. Также с ее помощью можно модернизировать оборудование на мелкосерийных предприятиях, которое эксплуатируется еще с советского периода, в очень короткие сроки: 3-4 месяца при поставке базового вакуумного магнетрона и 9 месяцев в случае разработки магнетрона под более сложные требования.
Новая установка распыляет не только ферромагнитные металлы, но и материалы с более сложными свойствами. Оксид этого материала применяется при создании солнечных элементов в качестве просветляющих покрытий и в приложениях, требующих прозрачных проводящих контактов.
Ранее www1.ru сообщал, что в России разработана новая установка для проверки качества композитов в авиации и космосе.
Читать материалы по теме:
Быстрее на десятки процентов: российские учёные придумали, как ускорить микропроцессоры
Сейчас на главной
Региональный лайнер вышел на завершающую стадию лётных испытаний
Пиковая нагрузка кибератаки на «Орион Телеком» составила 297 Gbps
Новое приложение позволяет совершать покупки без телефона
Проект находится на завершающей стадии подготовки, уточнили в Минцифры
Новый сервис тестируется в мобильном приложении
Российские авиакомпании всё ещё эксплуатируют свыше 100 самолётов Airbus, как это отразится на них?
До конца года городской парк пополнится 15 экологичными автобусами
Авиакомпании получат российские самолёты после сертификации в 2026 году
Только локализованные или отечественные приложения для контроля диабета смогут работать при ограничениях интернета
Авиапарк оценили как минимум в 20 машин
Отечественный двигатель 4-го поколения отработал без замечаний
Беспилотники используются для тактической разведки, установки мин и точечного поражения вражеских объектов