В Санкт-Петербургском политехническом университете Петра Великого (СПбПУ) разработали отечественную установку вакуумного магнетронного осаждения. Об этом сообщила пресс-служба Минобрнауки РФ.
Новая установка позволяет наносить самые тонкие покрытия из различных материалов путем распыления атомов. Такие покрытия используются в микроэлектронике, оптоэлектронике и фотовольтаике.
Лабораторная установка, разработанная инженерами НЦМУ СПбПУ, предназначена для осаждения различных материалов на подложки кремния, карбида кремния, алмаза, кварца путем распыления атомов мишени. Основное назначение новой установки - осаждение металлов заданной толщины от 10 нм до десятков мкм на подложки, которые используются в полупроводниковой промышленности.
В процессе вакуумного магнетронного осаждения ключевую роль играет мишень — источник материала для покрытия. При подаче напряжения на магнитную систему магнетрон в атмосфере инертного газа генерирует плазму. Освобожденные за счет ионов атомы осаждаются на поверхности объекта, образуя тончайший слой.
Наша установка может заменить широко используемые комплексы иностранного производства. Также с ее помощью можно модернизировать оборудование на мелкосерийных предприятиях, которое эксплуатируется еще с советского периода, в очень короткие сроки: 3-4 месяца при поставке базового вакуумного магнетрона и 9 месяцев в случае разработки магнетрона под более сложные требования.
Новая установка распыляет не только ферромагнитные металлы, но и материалы с более сложными свойствами. Оксид этого материала применяется при создании солнечных элементов в качестве просветляющих покрытий и в приложениях, требующих прозрачных проводящих контактов.
Ранее www1.ru сообщал, что в России разработана новая установка для проверки качества композитов в авиации и космосе.
Читать материалы по теме:
Быстрее на десятки процентов: российские учёные придумали, как ускорить микропроцессоры
Сейчас на главной
География поставок вооружений постепенно увеличивается
Калужский «Тайфун» выиграл процесс против Зеленодольского завода имени А. Г. Горького
Новая защита не повреждает корпус лёгкой бронетехники и не создаёт вторичных поражающих факторов
Пользователи уже получили 10 млн уведомлений от МФЦ
А также было отражено 3,5 миллиона фишинговых атак
Кумулятивная струя разбивается о металл до того, как коснётся брони
Специалисты использовали лазерное сканирование и фотограмметрию для точного воспроизведения
Подготовку к запуску обсерватории планируется завершить к 2030 году
Технология моделирования улучшает безопасность и скорость движения
Замкнутый цикл абразива повысит рентабельность литья
Новая разработка поможет сократить отходы и превратить пластик в полезные изделия
Для Индии проект боевого истребителя имеет стратегическое значение