Un equipo ruso, dirigido por Evgeny Givargizov y con el apoyo de la Iniciativa Tecnológica Nacional, ha preparado un proyecto de litógrafo electrónico que debería reducir el procesamiento de una oblea de silicio de una semana y media a dos semanas a cinco a siete minutos. La aceleración del proceso en aproximadamente 3000 veces será posible gracias a la multitud de haces de electrones que trabajan simultáneamente en lugar de uno solo.

El corazón de la instalación es un multicátodo, una matriz de fuentes de electrones independientes sobre un sustrato común. Los sistemas extranjeros suelen dividir un solo haz con una compleja construcción de espejos y obturadores. El enfoque ruso debería hacer que el equipo sea más barato, más económico y menos exigente en cuanto a infraestructura.

La tecnología multicátodo ya ha sido creada y probada, pero el litógrafo solo existe por ahora como un proyecto. Se planea ensamblar el primer prototipo en aproximadamente tres años. Los ingenieros lograron obtener fuentes de haces con un radio de punta de 1.5-2 nanómetros, lo que los desarrolladores consideran uno de los mejores resultados a nivel mundial.

Se espera que la instalación se utilice para producir microchips con normas que van desde 350 hasta varios nanómetros. Si se implementa con éxito, podrá acelerar la producción de chips y reducir la dependencia de Russia del equipo extranjero, aunque la resolución final también dependerá de los fotorresistores utilizados.