El litógrafo nacional entra en producción en serie: ZNTC apunta a la tecnología de 130 nm

El Centro Nanotecnológico de Zelenograd (ZNTC) ha comenzado a vender el primer litógrafo nacional con una resolución de 350 nm. Así lo anunció Anatoly Kovalev, director general de la empresa, en una entrevista para el anuario "Electrónica Viva de Rusia - 2026".

ZNTC se ha dedicado al desarrollo de la ingeniería electrónica desde 2021. A partir de 2027, la empresa planea lanzar la producción de una unidad de alineación y exposición por proyección con una resolución de 130 nm. Además, actualmente se están desarrollando una unidad de litografía de haz de electrones con una resolución de 150 nm y una unidad de control de defectos superficiales inducidos en obleas semiconductoras con una capacidad de detección de 45 nm.

También se ha iniciado el desarrollo de una línea de fotolitografía en clúster para el procesamiento de capas de fotorresistencia en litografía DUV submicrónica para la fabricación de circuitos integrados a gran escala en obleas de 200 mm de diámetro.

Los litógrafos se utilizan para crear la topología de los microcircuitos, una de las etapas clave en la producción de chips. La producción propia de equipos de litografía permite reducir la dependencia de las importaciones y fortalecer la soberanía tecnológica del país.