Con una resolución de 350 nm: el primer litógrafo ruso desarrollado en el ZNTC

Se utilizó un láser de estado sólido como fuente de radiación

El Centro de Nanotecnología de Zelenograd (ZNTC) anunció la finalización del desarrollo del primer fotolitógrafo ruso. Esta instalación es capaz de crear microchips con una resolución de 350 nanómetros.

El nuevo litógrafo tiene varias ventajas sobre los desarrollos anteriores. El área del campo de trabajo se ha incrementado a 22x22 mm (en lugar de 3,2x3,2 mm), y el diámetro máximo de las placas procesadas ha aumentado a 200 mm (desde 150 mm). Por primera vez en un litógrafo ruso, en lugar de una lámpara de mercurio, se utilizó un láser de estado sólido más potente y duradero como fuente de radiación.

Actualmente, el centro está adaptando los procesos tecnológicos a las necesidades de los consumidores finales y está negociando el suministro de las primeras instalaciones para modernizar las producciones microelectrónicas existentes y equipar las nuevas. Uno de los clientes potenciales es la empresa "Mikron". El ZNTC también planea completar el desarrollo de un litógrafo con una resolución de 130 nm para 2026.

Anteriormente, www1.ru informó que el primer litógrafo ruso de 350 nanómetros salió a prueba.

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