Исследователи Мордовского государственного университета (МГУ) им. Н. П. Огарёва разработали методику контроля пор в тонких металлических покрытиях изделий машиностроения. Благодаря ей можно скорректировать технологические процессы производства изделий, рассказали в пресс-службе вуза.
Металлические плёнки и покрытия применяются в микроэлектронике, радиотехнике, оптике, лазерной технике, энергетике и машиностроении. Эксплуатационные характеристики изделий зависят от распределения пор внутри этих плёнок и покрытий. Учёные условно делят поры на 2 типа: открытые (связанные между собой) и закрытые (изолированные внутри материала).
Мордовские специалисты предложили новый способ определить величину общей (интегральной) пористости (сумма открытых и закрытых пустот) на металлическом слое толщиной от 1 до 50 мкм. Для этого разработчики накладывают на исследуемый слой фольгу с круглым отверстием и провечивают оптическим профилографом.
Вычислив разность полученных высот профиля поверхности металлического слоя внутри отверстия и профиля поверхности подложки, можно определить геометрическую толщину тонкого металлического слоя в локальной области.
Затем с помощью рентгенофлуоресцентного толщиномера измеряют эффективную рентгеновскую толщину металлического слоя. Зная разницу между геометрической толщиной и рентгеновской, учёные находят интегральную пористость, добавил Новопольцев.
В отличие от существующих методов определения общей пористости, способ специалистов МГУ им. Н. П. Огарёва прост и эффективен. На большинстве предприятий есть оптический профилограф и рентгенофлуоресцентный толщиномер. Поэтому для его внедрения не требуется дополнительное оборудование, подытожили в вузе.
Комментарии