Первый российский литограф, который разработали для серийного производства, уже получил конкретного покупателя. Установку с разрешением 350 нм должен получить «Маппер» из ГК «Ростех». Цена базовой версии составляет сотни миллионов рублей.

Литограф нужен для производства микросхем

Литограф переносит изображение схемы с фотошаблона на полупроводниковую пластину, из которой затем изготавливают интегральные схемы. Российскую установку разработал Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) вместе с белорусской компанией «Планар».

Как стало известно CNews, первый серийный литограф с разрешением 350 нм передадут заказчику в декабре 2026 года. Покупателем станет «Маппер» — производитель микроэлектроники, работающий в составе «Ростеха». Об этом изданию рассказали источники, близкие к компании и Минпромторгу.

Второй серийный литограф после «Маппера» получит компания «Отраслевые решения», входящая в группу «Элемент». О контракте было известно ещё в сентябре 2025 года.

О двух коммерческих контрактах на поставку литографов ранее говорил руководитель производства изделий РЭА ЗНТЦ Дмитрий Калбазов на выставке ExpoElectronica-2026.

«Маппер» — это МЭМС-фабрика в Технополисе «Москва»

Компания занимается контрактным производством чувствительных элементов на основе кремния по технологии микроэлектромеханических систем, или МЭМС.

На предприятии 1500 кв. м чистых помещений, более 30 единиц оборудования и около 70 специалистов. Производственная мощность составляет до 5000 пластин в год.

Компания появилась в 2012 году как дочернее предприятие нидерландского холдинга Mapper Lithography. С апреля 2022 года «Маппер» принадлежит АО «ОКБ «Астрон», которое входит в холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех».

Вместе с «Астроном» «Маппер» участвует в проекте Минпромторга по серийному производству инфракрасных матриц для беспилотников и тепловизоров.

К 2028 году в России планируется наладить выпуск около 11,5 тыс. детекторов инфракрасного излучения в год. На проект выделяются миллиарды рублей: на каждый из шести цехов производственной цепочки предусмотрено от 4 млрд до 15 млрд рублей.

Что умеет российский литограф

Установка ЗНТЦ предназначена для производства сверхбольших интегральных схем с топологической нормой 350 нм. Такие технологии применяются в силовой электронике, автомобильной электронике и промышленных системах.

Установка получила рабочее поле размером 22×22 мм и может обрабатывать пластины диаметром до 200 мм.

Вместо традиционной ртутной лампы в литографе используется твердотельный лазер. По данным разработчиков, это позволяет получить большую мощность и повысить энергоэффективность оборудования.

Базовая версия установки стоит 392 млн рублей без НДС. Если добавить расширенное сервисное обслуживание и пятилетнюю дополнительную гарантию, цена достигает 561 млн рублей.

При этом аналогичное зарубежное оборудование, по данным CNews, стоит на 40–60% дороже. Производительность российской установки составляет до 63 пластин диаметром 150 мм или до 43 пластин диаметром 200 мм в час.