НИИ НПО «Луч» (входит в Росатом) разработает автоматизированную установку контроля ионного легирования полупроводниковых пластин, сообщает CNews. Сумма госконтракта от Минпромторга составила 1,348 млрд рублей.

В конкурсе участвовали три компании, но «Луч» значительно опередил конкурентов по неценовым критериям — опыту и квалификации. Институт набрал 77,6 балла из 100, тогда как другие участники получили 28,2 и 4 балла.

Легирование — один из ключевых этапов производства микросхем: в чистый кремний внедряют атомы бора, фосфора или мышьяка для создания транзисторов и диодов. От точности этого процесса зависит работоспособность чипа. Контролировать дозу внедрённых примесей помогают специальные системы — именно их и предстоит создать российским разработчикам.

Разрабатываемая установка должна заменить американское оборудование KLA-Tencor (модели ThermaProbe TP500 и TP630). Прямых отечественных аналогов не существует. Технология работает на методе термических волн: лазер накачки возбуждает поверхность пластины, а зондирующий лазер регистрирует отклик, по которому рассчитывается доза легирования. Искусственный интеллект используется для распознавания топологического рисунка, построения калибровочных кривых и расчёта уровня имплантационной дозы.

Ключевое требование: критически важные компоненты — оптический стол, лазерные источники, фоточувствительные детекторы, механизмы загрузки и позиционирования — должны быть российского производства. Установка рассчитана на пластины диаметром до 200 мм. Работы должны быть завершены до октября 2029 года.