В России запустили собственное производство сверхчистых соединений фосфора для микроэлектроники. Это материалы, без которых сложно выпускать полупроводниковые компоненты: чипы, транзисторы, диоды и интегральные схемы. О запуске производства объявили в Росатоме.

Речь идёт об импортозамещающем производстве сверхчистого красного фосфора и оксихлорида фосфора. Эти вещества имеют критическое значение для российских микроэлектронных предприятий.

Раньше Россия импортировала более 80% материалов, необходимых для выпуска чипов. В этот список входили в том числе красный фосфор и оксихлорид фосфора.

Директор по научным государственным программам «Росатом Науки» Иван Мазилин отметил, что современные требования к содержанию основного вещества в красном фосфоре для ионной имплантации составляют 99,9999%. По его словам, производство красного фосфора такой чистоты в России организуют впервые.

Сверхчистый фосфор используют в микроэлектронике на этапе обработки кремниевых пластин, из которых потом делают чипы. В кремний вводят очень малые количества фосфора — этот процесс нужен, чтобы отдельные участки будущей микросхемы начали лучше проводить электрический ток. Так на пластине формируют нужные рабочие зоны для транзисторов, диодов и других элементов.

Проект реализовали НИИ НПО «ЛУЧ» совместно с «Гиредметом». Работы идут в рамках программы Минпромторга «Развитие электронного машиностроения до 2030 года».