Зеленоградский завод «Микрон» получит 1,56 млрд рублей на разработку установки для измерения рассовмещения топологических слоёв на кремниевых пластинах — оборудование необходимо для производства микросхем. Заказчиком выступил Минпромторг. Шифр проекта — «Лучник», что в переводе на русский полностью совпадает с названием американского аналога ARCHER 10 XT от KLA TENCOR, который предстоит заместить, сообщает CNews.
Согласно техзаданию, новая установка должна автоматически измерять рассовмещение слоёв на пластинах диаметром до 200 мм с проектными нормами до 130 нм. Производительность — не менее 75 пластин в час. Работы должны быть завершены до 31 июля 2029 года. эксперты сходятся во мнении, что сроки разработки выбраны очень жёстко. Чтобы успеть до 2029 года, необходима готовая научная база и безупречная работа с поставками компонентов.
Американская установка ARCHER — это высокоточный контролёр на производстве микросхем. При создании чипов на кремниевую пластину слоями наносят рисунки будущих транзисторов, и каждый новый слой должен идеально совпадать с предыдущим — даже смещение в несколько нанометров (в тысячи раз тоньше волоса) делает чип бракованным. ARCHER с помощью оптики и интерферометра сканирует пластину, находит специальные метки совмещения и проверяет, не сдвинулись ли слои. Если есть ошибка, установка выдаёт данные для коррекции процесса на следующем этапе. Проще говоря, это «микроскоп-контролёр», который следит за точностью наложения слоёв при производстве микросхем.
Читайте ещё материалы по теме:
- Учёные Иоффе создали основу для новых энергоэффективных чипов
- Отечественные чипы для военной электроники никто не будет делать: cтроительство фабрики микрочипов «Карат» похоронили
- Замена европейским STM32: 200 000 чипов для двигателей дронов выпустят в России
Сейчас на главной
Публикация о поддержке извлечения данных в криминалистическом ПО названа фейком
Полёты добавили на фоне роста российского турпотока во Вьетнам на 197% за год
Банки и МФО будут передавать данные в бюро кредитных историй, а те — направлять информацию в личный кабинет заёмщика
Технику тестировали на реальных городских маршрутах при сибирских морозах
СберМобайл сообщает об обвале трафика мессенджера Telegram на 85% за неделю
Винтовка сохраняет кучность боя при −20°C и применяется с отечественными патронами .22LR
Параллельно растут продажи MP3-плееров: оборот вырос на 25% за январь — март, средний чек — на 13%
Институт гастрономии СФУ и бренд-шеф Bellini создадут авторскую еду для космонавтов к 65-летию полёта Гагарина
Бури мощностью G2-G3 ожидаются уже завтра
«Российские космические системы» представили итоги первых лет Десятилетия науки на выставке «Архимед-2026»
Под зонтичный бренд войдут фургоны Largus, снегоболотоход на базе Niva, спецавтомобили «Промтех» и метановые версии Largus и Vesta
Индустриальный партнёр — «Автодом», все компоненты от пенополиуретана до нагревательных элементов — российские