Импортозамещение за 1,5 миллиарда: заводу «Микрон» поручили создать аналог американского ARCHER для выпуска чипов

Эксперты называют проект сложнейшим: точность измерений требуется нанометровая

Зеленоградский завод «Микрон» получит 1,56 млрд рублей на разработку установки для измерения рассовмещения топологических слоёв на кремниевых пластинах — оборудование необходимо для производства микросхем. Заказчиком выступил Минпромторг. Шифр проекта — «Лучник», что в переводе на русский полностью совпадает с названием американского аналога ARCHER 10 XT от KLA TENCOR, который предстоит заместить, сообщает CNews.

Согласно техзаданию, новая установка должна автоматически измерять рассовмещение слоёв на пластинах диаметром до 200 мм с проектными нормами до 130 нм. Производительность — не менее 75 пластин в час. Работы должны быть завершены до 31 июля 2029 года. эксперты сходятся во мнении, что сроки разработки выбраны очень жёстко. Чтобы успеть до 2029 года, необходима готовая научная база и безупречная работа с поставками компонентов.

Американская установка ARCHER — это высокоточный контролёр на производстве микросхем. При создании чипов на кремниевую пластину слоями наносят рисунки будущих транзисторов, и каждый новый слой должен идеально совпадать с предыдущим — даже смещение в несколько нанометров (в тысячи раз тоньше волоса) делает чип бракованным. ARCHER с помощью оптики и интерферометра сканирует пластину, находит специальные метки совмещения и проверяет, не сдвинулись ли слои. Если есть ошибка, установка выдаёт данные для коррекции процесса на следующем этапе. Проще говоря, это «микроскоп-контролёр», который следит за точностью наложения слоёв при производстве микросхем.

Читайте ещё материалы по теме:

Сейчас на главной

«Госуслуги» будут уведомлять россиян о новых кредитах — оповещение придёт через 15 минут после оформления
6 часов назад

Банки и МФО будут передавать данные в бюро кредитных историй, а те — направлять информацию в личный кабинет заёмщика

Гастрономическая посылка от красноярских шеф-поваров впервые отправится на МКС — её повезёт «Союз МС-29»
7 часов назад

Институт гастрономии СФУ и бренд-шеф Bellini создадут авторскую еду для космонавтов к 65-летию полёта Гагарина

АвтоВАЗ выделил коммерческие автомобили в отдельный бизнес — новое направление получило название «Лада Бизнес»
8 часов назад

Под зонтичный бренд войдут фургоны Largus, снегоболотоход на базе Niva, спецавтомобили «Промтех» и метановые версии Largus и Vesta

На площадке УАЗ в Ульяновске запустили производство сидений для пикапов Sollers ST6 и ST8 — 40 тысяч комплектов в год
8 часов назад

Индустриальный партнёр — «Автодом», все компоненты от пенополиуретана до нагревательных элементов — российские