Для отечественной микроэлектроники: новое производство сверхчистого бромистого водорода налажено специалистами ТГУ

Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ) при Томском государственном университете (ТГУ) запустил производство высокочистого бромистого водорода (HBr). Вещество критически важно для российской микроэлектронной промышленности. Проект реализован по заказу Министерства промышленности и торговли РФ.

Производство расположено в Томске. На разработку технологии и запуск производственной линии специалистам потребовалось полтора года. Чистота выпускаемого бромистого водорода достигает 99,999% (5N), что соответствует высочайшим требованиям микроэлектроники.

Производственная линия рассчитана на ежегодный выпуск 650 кг вещества, но её мощность может быть увеличена для полного обеспечения потребностей внутреннего рынка и снижения зависимости от импорта. Особой задачей стала разработка уникальной для России системы аналитического контроля качества. Молодые специалисты на базе химического факультета ТГУ создали и аттестовали методики определения следовых примесей.

Проект выполнен в рамках программы развития электронного машиностроения в России до 2030 года. Ключевыми потребителями продукции выступят отечественные предприятия, включая АО «Микрон», АО «ОКБ Планета» и другие.

ИХТЦ специализируется на масштабировании научных разработок и импортозамещении. Запуск производства бромистого водорода является частью более широкой программы центра по созданию отечественной линейки сверхчистой химии для высокотехнологичных отраслей.