АО «НИИ НПО "ЛУЧ"» (г. Подольск, входит в научный дивизион «Росатома») завершило разработку технологии производства особо чистого гексафторида вольфрама. Работа велась с 2023 по 2024 год по госзаказу Минпромторга. Сейчас проектируется первый в стране производственный участок для выпуска этого соединения.
Новый комплекс включит полную цепочку оборудования — от синтеза до очистки и контроля качества. Высокоочищенный гексафторид вольфрама востребован в микроэлектронной промышленности. До сих пор Россия зависела от импорта этого вещества.
Создание отечественного производства особо чистого гексафторида вольфрама невозможно без разработки технологии полного цикла получения данного соединения, отвечающего современным требованиям охраны труда и экологической безопасности. <...> Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Также в настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама.
Гексафторид вольфрама применяют при изготовлении полупроводников для нанесения вольфрамовых покрытий газофазным методом. Такие слои обладают стойкостью к высоким температурам и к химическим воздействиям, имеют минимальное сопротивление и защищают платы и микросхемы.
Кроме того, это соединение используют в газофазной металлургии. С его помощью получают сверхчистый вольфрам и создают специализированные покрытия, применяя методы водородного восстановления и химического транспорта.
Ранее www1.ru сообщал о патенте «Росатома» на технологию производства титановых прутков для медицины.
Читайте ещё материалы по теме:
ТВЭЛ изготовил опытную партию газовых центрифуг 10-го поколения для разделения изотопов урана
ТМХ увеличивает выпуск электроники для транспорта в шесть раз
«Росатом» запатентовал технологию производства титановых прутков для медицины
