Российские учёные приступили к разработке импортозамещённых керамических сенсоров для микроэлектроники

В Институте нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике (ИНТЭЛ) НИЯУ МИФИ молодёжная лаборатория «Низкотемпературные керамические технологии (LTCC) в микроэлектронике» демонстрирует значительные успехи в создании отечественных аналогов критически важных электронных компонентов. Коллектив из 17 человек, преимущественно студентов и молодых учёных, фокусируется на двух ключевых задачах: разработке миниатюрных газовых сенсоров нового поколения и создании уникального лазерного оборудования для микрообработки материалов — обеспечивая технологическое импортозамещение в приборостроении.

Источник изображения сгенерировано нейросетью Sora

Ведущий инженер лаборатории, лауреат премии Правительства Москвы Майя Этрекова, работает над сенсорами на основе широкозонных полупроводников (карбид кремния, оксид галлия):

Сейчас мы активно осваиваем технологию производства наших газовых сенсоров на основе широкозонных полупроводников — карбида кремния и оксида галлия. Уверена, что очень скоро такие полупроводники придут на смену кремнию, который уже более полувека является основой электронной промышленности. В случае наших МДП-сенсоров новые полупроводниковые материалы позволят ускорить миниатюризацию датчиков с сохранением высокой чувствительности и быстродействия. А миниатюрный газовый датчик, интегрированный, например, в смартфон или часы, − это будущее сенсорного газового анализа.

Майя Этрекова, ведущий инженер, лауреат премии Правительства Москвы молодым ученым в номинациях «Приборостроение» и «Городская инфраструктура»

Подобные компоненты востребованы в авионике, космической технике и промышленности.

Сотрудники лаборатории
Источник изображения Пресс-служба НИЯУ МИФИ

Параллельно руководитель лаборатории Константин Облов, также отмеченный столичной премией, решил проблему доступности специализированного оборудования для мелкосерийного производства и прототипирования. Его команда создала программно-аппаратный комплекс для четырехкоординатной лазерной микрофрезеровки:

Наша установка позволяет небольшим научным группам получать примерно тот же результат, что и на промышленных линиях, «заточенных» под массовое производство. С помощью нашего оборудования можно повторить операции, которые делают на крупных производствах, а еще – использовать новые материалы, которые прежде было сложно объемно обрабатывать классическими технологиями. Например, циркониевую керамику. Её применяют для создания газовых датчиков – приборов для сверхтяжелых условий эксплуатации, связанных с регистрацией процессов качества сгорания топлива в газовых турбинах и дизельных двигателях.

Константин Облов, руководитель лаборатории

Эта установка — ключевой инструмент для разработки и изготовления отечественных керамических МЭМС-сенсоров.

Сотрудники лаборатории активно вовлечены в разнообразные международные научные инициативы. Одним из таких проектов является совместная работа в консорциуме DigiMan, вместе с научными и коммерческими организациями из Германии и Израиля.

Читайте ещё материалы по теме:

Новые датчики температуры грунтов от «РТ-Техприёмка» помогут предотвратить аварии на трубопроводах в зоне вечной мерзлоты

Модернизированное производство предприятия «Киберсталь» может вдвое сократить импорт труб из Китая

Производство инновационных компактных модулей памяти запущено компанией АО «Российские космические системы»