В Москве запустили первое в России серийное производство электростатических столов для работы с пластинами при изготовлении микросхем, чипов и процессоров. Устройство предназначено для использования в вакуумных технологических установках.
Главная особенность разработки — бесконтактное удержание пластин с помощью электростатического поля. Это позволяет отказаться от механического прижима и снизить риск появления повреждений или загрязнений на чувствительной поверхности.
Столы будут использовать как в составе собственного оборудования производителя, так и поставлять отдельно для интеграции в уже работающие технологические линии по всей стране.
Проект реализовали при содействии Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства. Серийный выпуск должен расширить локальное производство компонентов для микроэлектронного оборудования.
Читайте ещё материалы по теме:
- 8 модулей и 90 нанометров: Россия запускает своё оборудование для чипов
- Замещает импорт: Минпромторг запускает производство отечественных установок для чипов на 7 млрд рублей
- Импортозамещение идет полным ходом: установку для создания чипов разработали в НИИТМ