8 модулей и 90 нанометров: Россия запускает своё оборудование для чипов

НИИТМ и НИИМЭ создают установку для напыления алюминия на пластины диаметром 200 мм

Российские инженеры начали разработку первого отечественного кластерного оборудования для напыления металла. За проект взялись НИИТМ и НИИМЭ, которые входят в группу «Элемент». Машина получит 8 модулей и позволит выпускать микросхемы с топологией от 90 до 180 нанометров. Диаметр пластин составит 200 миллиметров. Это серьёзный шаг для всей микроэлектроники страны.

Оборудование для производства микросхем
Оборудование для производства микросхем

Финансирование идёт через Минпромторг по программе развития электронного машиностроения. Работы закончат к сентябрю 2030 года. Всё оборудование проектируют с учётом возможности будущей модернизации.

Главная особенность системы — транспортная схема. Она включает два распределительных блока и буферную камеру. Решение помогает сохранять глубокий вакуум и улучшает качество плёнок. Внутри комплекса будут работать два робота-манипулятора для ускорения процессов. Модульная сборка даёт возможность перенастраивать линию под новые задачи или менять части оборудования без остановки всего производства. Запасные модули обеспечат работу даже во время ремонта.

НИИТМ отвечает за чертежи, макеты и испытания конструкции. Коллеги из НИИМЭ сформируют техтребования и проверят технологию на практике. Руководитель НИИМЭ Александр Кравцов рассчитывает, что готовая установка заинтересует заводы не только внутри страны, но и за её пределами. Специалисты уверены, что проект закроет важные потребности рынка.

Читайте ещё материалы по теме:

Источники:
«Элемент»

Сейчас на главной