Российские инженеры начали разработку первого отечественного кластерного оборудования для напыления металла. За проект взялись НИИТМ и НИИМЭ, которые входят в группу «Элемент». Машина получит 8 модулей и позволит выпускать микросхемы с топологией от 90 до 180 нанометров. Диаметр пластин составит 200 миллиметров. Это серьёзный шаг для всей микроэлектроники страны.
Финансирование идёт через Минпромторг по программе развития электронного машиностроения. Работы закончат к сентябрю 2030 года. Всё оборудование проектируют с учётом возможности будущей модернизации.
Главная особенность системы — транспортная схема. Она включает два распределительных блока и буферную камеру. Решение помогает сохранять глубокий вакуум и улучшает качество плёнок. Внутри комплекса будут работать два робота-манипулятора для ускорения процессов. Модульная сборка даёт возможность перенастраивать линию под новые задачи или менять части оборудования без остановки всего производства. Запасные модули обеспечат работу даже во время ремонта.
НИИТМ отвечает за чертежи, макеты и испытания конструкции. Коллеги из НИИМЭ сформируют техтребования и проверят технологию на практике. Руководитель НИИМЭ Александр Кравцов рассчитывает, что готовая установка заинтересует заводы не только внутри страны, но и за её пределами. Специалисты уверены, что проект закроет важные потребности рынка.
Читайте ещё материалы по теме:
Сейчас на главной
Потраченные средства возвращаются без жалоб и звонков — в один клик
Теперь можно «оказаться» где угодно — от встречи со звездой до новой внешности
Воздушное судно с бортовым номером RA-96023 приземлилось в аэропорту Внуково
Компания PANDA начала выпуск специализированных подъёмников для промышленности
Силовая установка осталась в размерности АЛ-31Ф, но тяга мощнее на 30% на форсаже
Новые наблюдения показывают более жёсткий сценарий развития событий
Высота конструкции составляет 2,5 метра, а её общий вес 25 тонн
«Суперджет» прошёл особую проверку: отработаны заходы на посадку с уходом на второй круг и протестирована сигнализация сваливания
Подготовка орудия к бою занимает меньше 10 минут
Скорость интернета может вырасти на 60%, а соединение — стать стабильнее
Специалисты «ИнДев Солюшенс» разработали алгоритмы автономного управления
Модель разработки специалистов ГосНИИАС имитирует работу экипажа с учётом стресса, усталости и уровня подготовки