Минпромторг РФ направит более 1,43 млрд руб. на разработку автоматизированной установки жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Это оборудование нужно для производства полупроводников и микрочипов. Информация о тендере размещена на сайте госзакупок.
По условиям закупки, установка должна выполнять операции травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Производительность — не менее 100 пластин за один цикл.
Предусматривается работа как минимум с 8 различными химическими реагентами и деонизированной водой. Выбор реагента должен быть автоматическим.
При этом, как указано в материалах тендера, для оборудования необходимо использовать комплектующие российского производства. Применение зарубежных деталей возможно только после согласования с заказчиком.
Победитель тендера обязан выполнить работу до 30 ноября 2029 года. Компанию, которой достался контракт, объявили 19 июня. Но сведения о ней в системе госзакупок не раскрываются.