Минпромторг направит 1,9 миллиарда рублей на освоение производства материалов для электронно-лучевой и взрывной литографии. Как выяснил CNews, два тендера появились на портале госзакупок 10 июня 2026 года. Заявки принимаются до 26 июня, завершить опытно-конструкторские работы нужно до ноября 2029 года.
Первый конкурс под шифром «СВЧ Резист-1» касается материалов для электронно-лучевой литографии и оценивается в один миллиард 17 миллионов рублей. Второй, «СВЧ Резист-2», связан с материалами для взрывной литографии, его начальная цена — 889,5 миллиона рублей. Оба контракта предполагают путь от исследований до серийного выпуска.
По первому направлению планируется создать 12 типов материалов, включая резисты серий ПММА 950, ПММА 495, ЭЛРП и ММА. Они должны заменить продукцию Allresist, Microresist technology, ZEON и MicroChem Corporation. По второму направлению разработают 7 типов материалов серии ВЛ — аналоги решений MicroChem Corporation для взрывной литографии.
Такие материалы используются при производстве электронной техники, в том числе изделий для СВЧ-диапазона. В документации указано, что в России сейчас нет собственного производства материалов для электронно-лучевой литографии, а прежние поставки из недружественных стран прекращены.
Эксперты считают, что новые тендеры скорее формируют отечественную технологическую базу, чем полностью закрывают потребности отрасли. Для литографических материалов важны не только объёмы, но и сверхвысокая чистота, стабильность характеристик, контроль качества и интеграция в производственные процессы. Это продолжение работы Минпромторга по импортозамещению критических материалов для микроэлектроники.
