En la Universidad Politécnica de San Petersburgo Pedro el Grande (SPbPU) se ha desarrollado una instalación nacional de deposición magnetrónica al vacío. Así lo informó el servicio de prensa del Ministerio de Ciencia y Educación Superior de la Federación Rusa.
La nueva instalación permite aplicar los recubrimientos más delgados de diversos materiales mediante la pulverización de átomos. Dichos recubrimientos se utilizan en microelectrónica, optoelectrónica y fotovoltaica.
La instalación de laboratorio, desarrollada por ingenieros del Centro Nacional de Investigación de la SPbPU, está diseñada para la deposición de diversos materiales sobre sustratos de silicio, carburo de silicio, diamante, cuarzo mediante la pulverización de átomos del objetivo. El propósito principal de la nueva instalación es la deposición de metales de un espesor determinado de 10 nm a decenas de μm sobre sustratos que se utilizan en la industria de los semiconductores.
En el proceso de deposición magnetrónica al vacío, un papel clave lo desempeña el objetivo: la fuente de material para el recubrimiento. Al aplicar tensión al sistema magnético, el magnetrón genera plasma en una atmósfera de gas inerte. Los átomos liberados por los iones se depositan en la superficie del objeto, formando una capa muy fina.
Nuestra instalación puede reemplazar los complejos de producción extranjera ampliamente utilizados. Además, con su ayuda, se puede modernizar el equipo en empresas de pequeña escala, que se ha estado operando desde el período soviético, en muy poco tiempo: 3-4 meses al suministrar un magnetrón de vacío básico y 9 meses en el caso del desarrollo de un magnetrón para requisitos más complejos.
La nueva instalación pulveriza no solo metales ferromagnéticos, sino también materiales con propiedades más complejas. El óxido de este material se utiliza en la creación de células solares como recubrimientos antirreflectantes y en aplicaciones que requieren contactos conductores transparentes.
Anteriormente, www1.ru informó que en Rusia se desarrolló una nueva instalación para verificar la calidad de los compuestos en la aviación y el espacio.