?Cuanto cuesta la soberania tecnologica?: El litografo nacional "Progress STP-350" fue valorado en 561 millones de rublos

La productividad del litografo "Progress STP-350" es de 63 obleas por hora

Se dio a conocer el precio del litografo ruso "Progress STP-350". La version basica del equipo esta valorada en menos de 392 millones de rublos. Sin embargo, al elegir un servicio ampliado, la suma final aumenta.

El plazo de fabricacion y suministro del equipo es de 18 meses desde la fecha de pago del anticipo, y el importe del anticipo es del 50% del costo del litografo. Al elegir un servicio ampliado y una garantia adicional de cinco anos, el precio aumenta a 561 millones de rublos.

El litografo "Progress STP-350" fue creado para procesar obleas de silicio de 150 y 200 mm de diametro. La productividad del equipo es de 63 obleas por hora para el formato de 150 mm y 43 obleas por hora para 200 mm. La longitud de onda de trabajo es de 365 nm.

El desarrollo del equipo se llevo a cabo conjuntamente con la empresa bielorrusa "Planar" en el marco de proyectos del Ministerio de Industria y Comercio, y fue completado en la primavera de 2025. En la actualidad, el fabricante tambien trabaja en la siguiente generacion de equipos, pensada para un proceso tecnologico de 130 nm.

A modo de comparacion, los litografos de ASML para un proceso tecnologico de 130 nm, capaces de procesar hasta 180 obleas por hora, cuestan alrededor de 15 millones de dolares. El equipo de Nikon esta valorado en 12 millones de dolares con una productividad de hasta 150 obleas por hora, y las soluciones de Canon en unos 10 millones de dolares con una velocidad de hasta 140 obleas por hora. La china SMEE ofrece litografos por 8 millones de dolares con una productividad de alrededor de 120 obleas por hora.

Anteriormente, www1.ru informo que un litografo unico fue desarrollado en el MFTI.

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