Especialistas del Instituto de Física P. N. Lébedev (FIAN) han desarrollado una instalación para obtener componentes nacionales de óptica de rayos X y difracción, basada en un nanolitógrafo electrónico, cuya producción cesó tras la desintegración de la Unión Soviética. Así lo anunció el vicepresidente de la Comisión Internacional de Óptica (ICO) y miembro correspondiente de la Academia de Ciencias de Rusia, Andréi Naúmov.
Como base para la instalación, tomamos el nanolitógrafo electrónico ZBA, desarrollado en los años 1980-1990 por un consorcio de países del Consejo de Ayuda Mutua Económica (CAME). En la URSS, los países del CAME y el espacio postsoviético operaban varios cientos de estas instalaciones y una parte importante de toda la electrónica postsoviética tardía se fabricaba utilizando estas máquinas, cuya producción cesó tras la desintegración de la Unión Soviética por razones políticas. Además de la reingeniería de nodos individuales de la instalación, se ha llevado a cabo su reelaboración teniendo en cuenta las tecnologías modernas.
Con la ayuda de la nueva instalación, los científicos rusos ya han comenzado a obtener elementos de espectrómetros y componentes para la fabricación de elementos ópticos de difracción y rejillas de fase. Se utilizan en sistemas de visión artificial y microscopía.
Recientemente se fabricaron rejillas de difracción de incidencia rasante especialmente calculadas con un período variable, cuyo uso es fundamental para el desarrollo de la óptica de rayos X. También obtuvimos rejillas de difracción de alta calidad para espectrómetros. Se ha implementado la posibilidad de imprimir en placas grandes de hasta 150 por 150 mm.
La instalación utiliza el método de litografía por haz de electrones. Implica el uso de un haz de electrones para estructurar la superficie de un material polimérico especial (resistencia). Este enfoque permite producir nanoestructuras únicas con un estándar tecnológico de hasta 200 nanómetros o menos.
Anteriormente, www1.ru informó que el primer litógrafo ruso de 350 nanómetros salió a pruebas.
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